After Dhyana of Lord Shiva, one should chant following Mantra in front of the Murti, by showing Avahan Mudra (Avahan Mudra is formed by joining both palms and folding both thumbs inwards).

आगच्छ भगवन्देव स्थाने चात्र स्थिरो भव। यावत्पूजां करिष्यामि तावत्त्वं सन्निधौ भव॥

Agachchha Bhagavandeva Sthane Chatra Sthirobhava। Yavatpujam Karishyami Tavattvam Sannidhaubhava॥

ॐ साङ्गाय सायुधाय साम्बसदाशिवाय नमः आवाहनं समर्पयामि।

Om Sangaya Sayudhaya Sambasadashivaya Namah Avahanam Samarpayami।

After Lord Shiva has been invoked, offer Him water to wash the feet while chanting following Mantra.

महादेव महेशान महादेव परात्पर। पाद्यं गृहाण मद्दतं पार्वतीसहितेश्वर॥

Mahadeva Maheshana Mahadeva Paratpara। Padyam Grihana Maddattam Parvati Sahiteshwarah॥

ॐ साङ्गाय सायुधाय साम्बसदाशिवाय नमः पाद्यं समर्पयामि।

Om Sangaya Sayudhaya Sambasadashivaya Namah Padyam Samarpayami।

After Padya offering, offer water to Shri Shiva for head Abhishekam while chanting following Mantra.

त्र्यम्बकेश सदाचार जगदादिविधायक। अर्घ्यं गृहाण देवेश साम्बसर्वार्थदायक॥

Tryambakesha Sadachara Jagadadi-Vidhayakah। Arghyam Grihana Devesha Samba Sarvarthadayakah॥

ॐ साङ्गाय सायुधाय साम्बसदाशिवाय नमः अर्घ्यं समर्पयामि।

Om Sangaya Sayudhaya Sambasadashivaya Namah Arghyam Samarpayami।

Now offer water to Shri Shiva for Achamana while chanting following Mantra.

त्रिपुरान्तक दीनार्तिनाश श्रीकण्ठशाश्वत। गृहाणाचमनीयं च पवित्रोदककल्पितम्॥

Tripurantaka Dinarti Nasha Shri Kantha Shashvata। Grihanachamaniyam Cha Pavitrodaka Kalpitam॥

ॐ साङ्गाय सायुधाय साम्बसदाशिवाय नमः आचमनीयं समर्पयामि।

Om Sangaya Sayudhaya Sambasadashivaya Namah Achamaniyam Samarpayami।

Now give a bath with cow milk while chanting following Mantra.

मधुरं गोपयः पुण्यं पटपूतं पुरस्कृतम्‌। स्नानार्थं देव देवेश गृहाण परमेश्वर!॥

Madhuram Gopayah Punyam Pataputam Puraskritam। Snanartham Deva Devesha Grihana Parameshwara!॥

ॐ साङ्गाय सायुधाय साम्बसदाशिवाय नमः गोदुग्धस्नानं समर्पयामि।

Om Sangaya Sayudhaya Sambasadashivaya Namah Godugdha Snanam Samarpayami।

Now give a bath with curd while chanting following Mantra.

दुर्लभं दिवि सुस्वादु दधि सर्वप्रियं परम्‌। पुष्टिदं पार्वतीनाथ! स्नानाय प्रतिगृह्यताम्॥

Durlabham Divi Suswadu Dadhi Sarva Priyam Param। Pushtidam Parvatinatha! Snanaya Pratigrihyatama॥

ॐ साङ्गाय सायुधाय साम्बसदाशिवाय नमः दधिस्नानं समर्पयामि।

Om Sangaya Sayudhaya Sambasadashivaya Namah Dadhi Snanam Samarpayami।

Now give a bath with Ghee while chanting following Mantra.

घृतं गव्यं शुचि स्निग्धं सुसेव्यं पुष्टिमिच्छताम्‌। गृहाण गिरिजानाथ स्नानाय चन्द्रशेखर॥

Ghritam Gavyam Shuchi Snigdham Susevyam Pushtimichchhatam। Grihana Girijanatha Snanaya Chandrashekhara॥

ॐ साङ्गाय सायुधाय साम्बसदाशिवाय नमः घृतस्नानं समर्पयामि।

Om Sangaya Sayudhaya Sambasadashivaya Namah Ghrita Snanam Samarpayami।

Now give a bath with honey while chanting following Mantra.

मधुरं मृदु मोहघ्नं स्वरभङ्गविनाशनम्‌। महादेवेदमुत्सृष्टं तव स्नानाय शङ्‌कर॥

Madhuram Mridu Mohaghnam Swarabhanga Vinashanam। Mahadevedamutsrishtam Tava Snanaya Shankara॥

ॐ साङ्गाय सायुधाय साम्बसदाशिवाय नमः मधुस्नानं समर्पयामि।

Om Sangaya Sayudhaya Sambasadashivaya Namah Madhu Snanam Samarpayami।

Now give a bath with sugar while chanting following Mantra.

तापशान्तिकरी शीता मधुरास्वादसंयुता। स्नानार्थं देवदेवेश! शर्करेयं प्रदीयते॥

Tapashantikari Shita Madhuraswada Samyuta। Snanartham Deva Devesha! Sharkareyam Pradiyate॥

ॐ साङ्गाय सायुधाय साम्बसदाशिवाय नमः शर्करास्नानं समर्पयामि।

Om Sangaya Sayudhaya Sambasadashivaya Namah Sharkara Snanam Samarpayami।

Now give a bath with fresh water while chanting following Mantra.

गङ्गा गोदावरी रेवा पयोष्णी यमुना तथा। सरस्वत्यादितीर्थानि स्नानार्थं प्रतिगृह्यताम्‌॥

Ganga Godavari Reva Payoshni Yamuna Tatha। Saraswatyadi Tirthani Snanartham Pratigrihyatam॥

ॐ साङ्गाय सायुधाय साम्बसदाशिवाय नमः शुद्धोदकस्नानं समर्पयामि।

Om Sangaya Sayudhaya Sambasadashivaya Namah Shuddhodaka Snanam Samarpayami।

After giving bath with Panchamrita to Lord Shiva offer Him clothes while chanting following Mantra.

सर्वभूषाधिके सौम्ये लोकलज्जानिवारणे। मयोपपादिते देव! गृह्यतां वाससी शुभे॥

Sarvabhushadhike Saumye Loka Lajja Nivarane। Mayopapadite Deva! Grihyatam Vasasi Shubhe॥

ॐ साङ्गाय सायुधाय साम्बसदाशिवाय नमः वस्त्रं समर्पयामि।

Om Sangaya Sayudhaya Sambasadashivaya Namah Vastram Samarpayami।

After Vastram offering, offer holy thread to Lord Shiva while chanting following Mantra.

नवभिस्तन्तुभिर्युक्तं त्रिगुणं देवतामयम्‌। उपवीतं चोत्तरीयं गृहाण पार्वतीपते!॥

Navabhistantubhiryuktam Trigunam Devatamayam। Upavitam Chottariyam Grihana Parvati Pate!॥

ॐ साङ्गाय सायुधाय साम्बसदाशिवाय नमः यज्ञोपवीतं समर्पयामि।

Om Sangaya Sayudhaya Sambasadashivaya Namah Yajnopavitam Samarpayami।

After this offer sandalwood paste or powder to Lord Shiva while chanting following Mantra.

श्रीखण्डं चन्दनं दिव्यं गन्धाढ्यं सुमनोहरम्‌। विलेपनं सुरश्रेष्ठ चन्दनं प्रतिगृह्यताम्‌॥

Shrikhandam Chandanam Divyam Gandhadhyam Sumanoharam। Vilepanam Sura Shreshtha Chandanam Pratigrihyatama॥

ॐ साङ्गाय सायुधाय साम्बसदाशिवाय नमः गन्धं समर्पयामि।

Om Sangaya Sayudhaya Sambasadashivaya Namah Gandham Samarpayami।

After Gandham offering, offer Akshat to Lord Shiva while chanting following Mantra. (Seven times washed unbroken rice are known as Akshat).

अक्षताश्च सुरश्रेष्ठ शुभ्रा धूताश्च निर्मलाः। मया निवेदिता भक्त्या गृहाण परमेश्वर॥

Akshatashcha Sura Shreshtha Shubhra Dhutashcha Nirmalah। Maya Nivedita Bhaktya Grihana Parameshwara॥

ॐ साङ्गाय सायुधाय साम्बसदाशिवाय नमः अक्षतान् समर्पयामि।

Om Sangaya Sayudhaya Sambasadashivaya Namah Akshatan Samarpayami।

After this offer flowers and garland to Lord Shiva while chanting following Mantra.

माल्यादीनि सुगन्धीनि मालत्यादीनि वै प्रभो। मयाऽऽनीतानि पुष्पाणि गृहाण परमेश्वर॥

Malyadini Sugandhini Malatyadini Vai Prabho। Mayaanitani Pushpani Grihana Parameshwarah॥

ॐ साङ्गाय सायुधाय साम्बसदाशिवाय नमः पुष्पाणि समर्पयामि।

Om Sangaya Sayudhaya Sambasadashivaya Namah Pushpani Samarpayami।

After this offer Bilvapatram to Lord Shiva while chanting following Mantra.

बिल्वपत्रं सुवर्णेन त्रिशूलाकारमेव च। मयाऽर्पितं महादेव! बिल्वपत्रं गृहाण मे॥

Bilvapatram Suvarnena Trishulakara Meva Cha। Mayaarpitam Mahadeva! Bilvapatram Grihana Me॥

ॐ साङ्गाय सायुधाय साम्बसदाशिवाय नमः बिल्वपत्राणि समर्पयामि।

Om Sangaya Sayudhaya Sambasadashivaya Namah Bilvapatrani Samarpayami।

After this offer Agarbatti or Dhoop-batti to Lord Shiva while chanting following Mantra.

वनस्पतिरसोद्भूतो गन्धाढ्यो गन्ध उत्तमः। आघ्रेयः सर्वदेवानां धूपोऽयं प्रतिगृह्यताम्‌॥

Vanaspati Rasodbhuto Gandhadhyo Gandha Uttamah। Aghreyah Sarvadevanam Dhupoayam Prati Grihyatam॥

ॐ साङ्गाय सायुधाय साम्बसदाशिवाय नमः धूपं घ्रापयामि।

Om Sangaya Sayudhaya Sambasadashivaya Namah Dhupam Ghrapayami।

After this offer enlightened earthen lamp of pure Ghee to Lord Shiva while chanting following Mantra.

साज्यं च वर्तिसंयुक्तं वह्निना योजितं मया। दीपं गृहाण देवेश! त्रैलोक्यतिमिरापहम्॥

Sajyam Cha Varti Samyuktam Vahnina Yojitam Maya। Deepam Grihana Devesha! Trailokyatimirapaham॥

ॐ साङ्गाय सायुधाय साम्बसदाशिवाय नमः दीपं दर्शयामि।

Om Sangaya Sayudhaya Sambasadashivaya Namah Deepam Darshayami।

Wash your hands after lamp offering and offer Naivedya. It should include different type of fruits and sweets and offer this to Lord Shiva while chanting following Mantra.

शर्कराघृतसंयुक्तं मधुरं स्वादु चोत्तमम्‌। उपहारसमायुक्तं नैवेद्यं प्रतिगृह्यताम्‌॥

Sharkaraghrita Samyuktam Madhuram Swadu Chottamam। Upahara Samayuktam Naivedyam Pratigrihyatam॥

ॐ साङ्गाय सायुधाय साम्बसदाशिवाय नमः नैवेद्यं निवेदयामि।

Om Sangaya Sayudhaya Sambasadashivaya Namah Naivedyam Nivedayami।

After offering Naivedya, offer Achamana to Lord Shiva while chanting following Mantra.

एलोशीर-लवङ्गादि-कर्पूर-परिवासितम्‌। प्राशनार्थं कृतं तोयं गृहाण गिरिजापते!॥

Eloshira Lavangadi Karpura Parivasitam। Prashanartham Kritam Toyam Grihana Girijapate!॥

ॐ साङ्गाय सायुधाय साम्बसदाशिवाय नमः आचमनीयं समर्पयामि।

Om Sangaya Sayudhaya Sambasadashivaya Namah Achamaniyam Samarpayami।

After this offer betel leaf (Tambula) to Lord Shiva while chanting following Mantra.

पूगीफलं महद्‌दिव्यं नागवल्लीदलैर्युतम्‌। ऐलाचूर्णादिसंयुक्तं ताम्बूलं प्रतिगृह्यताम्‌॥

Pugi Phalam Mahad Divyam Nagavallidalairyutam। Ailachurnadi Samyuktam Tambulam Pratigrihyatam॥

ॐ साङ्गाय सायुधाय साम्बसदाशिवाय नमः ताम्बूलं समर्पयामि।

Om Sangaya Sayudhaya Sambasadashivaya Namah Tambulam Samarpayami।

After offering Tambulam, offer money to Lord Shiva while chanting following Mantra.

हिरण्यगर्भगर्भस्थं हेमबीजं विभावसोः। अनन्तपुण्यफलदमततः शान्तिं प्रयच्छ मे॥

Hiranyagarbha Garbhastham Hemabijam Vibhavasoh। Ananta Punya Phaladamatah Shantim Prayachchha Me॥

ॐ साङ्गाय सायुधाय साम्बसदाशिवाय नमः दक्षिणां समर्पयामि।

Om Sangaya Sayudhaya Sambasadashivaya Namah Dakshinam Samarpayami।

After offering Dakshina, offer Aarti with lit camphor in Puja Thali to Lord Shiva while chanting following Mantra.

कदलीगर्भसम्भूतं कर्पूरं च प्रदीपितम्‌। आरार्तिक्यमहं कुर्वे पश्य मे वरदो भव॥

Kadali Garbha Sambhutam Karpuram Cha Pradipitam। Aarartikyamaham Kurve Pashya Me Varado Bhava॥

ॐ साङ्गाय सायुधाय साम्बसदाशिवाय नमः आरार्तिक्यं समर्पयामि।

Om Sangaya Sayudhaya Sambasadashivaya Namah Aarartikyam Samarpayami।

After Aarti, take half Parikrama of Lord Shiva while chanting following Mantra.

यानि कानि च पापानि जन्मान्तरकृतानि वै। तानि सर्वाणि नश्यन्तु प्रदक्षिणां पदे पदे॥

Yani Kani Cha Papani Janmantara Kritani Vai। Tani Sarwani Nashyantu Pradakshinam Pade Pade॥

ॐ साङ्गाय सायुधाय साम्बसदाशिवाय नमः प्रदक्षिणां समर्पयामि।

Om Sangaya Sayudhaya Sambasadashivaya Namah Pradakshinam Samarpayami।

After Pradakshina offer incantations and flowers to Lord Shiva while chanting following Mantra.

नानासुगन्धपुष्पैश्च यथा कालोद्भवैरपि। पुष्पाञ्जलिर्मया दत्ता गृहाण महेश्वर॥

Nana Sugandhapushpaishcha Yatha Kalodbhavairapi। Pushpanjalir Maya Datta Grihana Maheshwara॥

ॐ साङ्गाय सायुधाय साम्बसदाशिवाय नमः मन्त्रपुष्पाञ्जलिं समर्पयामि।

Om Sangaya Sayudhaya Sambasadashivaya Namah Mantra Pushpanjalim Samarpayami।

After Mantra Pushpanjali offer apologies and ask for forgiveness to Lord Shiva while chanting following Kshama-Prarthana Mantra.

आवाहनं न जानामि न जानामि तवार्चनम्‌। पूजां चैव न जानामि क्षमस्व मां महेश्वर॥ अन्यथा शरणं नास्ति त्वमेव शरणं मम। तस्मात्कारुण्यभावेन रक्षस्व पार्वतीपते॥ गतं पापं गतं दुःखं गतं दारिद्र्यमेव च। आगता सुखसम्पत्तिः पुण्याच्च तव दर्शनात्‌॥ मन्त्रहीनं क्रियाहीनं भक्तिहीनं सुरेश्वर!। यत्पूजितं मया देव परिपूर्णं तदस्तु मे॥ यदक्षरपदं भ्रष्टं मात्राहीनं च यद्भवेत्‌। तत्सर्वं क्षम्यतां देव प्रसीद नन्दिकन्धर॥

Avahanam Na Janami Na Janami Tavarchanam। Pujam Chaiva Na Janami Kshamasva Mam Maheshwara॥ Anyatha Sharanam Nasti Tvameva Sharanam Mama। Tasmatkarunayabhavena Rakshasva Parvatipate॥ Gatam Papam Gatam Duhkham Gatam Daridrayameva Cha। Agata Sukha Sampattih Punyachcha Tava Darshanat॥ Mantrahinam Kriyahinam Bhaktihinam Sureshwara!। Yatpujitum Maya Deva Paripurnam Tadastu Me॥ Yadaksharapadam Bhrashtam Matrahinam Cha Yadbhavet। Tat Sarvam Kshamyatam Deva Prasida Nandikandhara॥

ॐ साङ्गाय सायुधाय साम्बसदाशिवाय नमः क्षमा-प्रार्थनां समर्पयामि।

Om Sangaya Sayudhaya Sambasadashivaya Namah Kshama-Prarthanam Samarpayami।